ТЪНКИТЕ СЛОЕВЕ (СЪСТАВ, СТРУКТУРА, СВОЙСТВА)
Вид на курса: задължителен, редовно		Ниво на курса: магистър		Година: 1
Семестър: 1	Брой кредити: 3
Цел на курса: Курсът запознава студентите с основните принципи на взаимодействие на материята в тънкослоен вид с твърда повърхност. Дава се информация за различните методи за получаване и изследване на състава на тънките слоеве, както и тяхното приложение.
Необходими условия: Лекционна зала, снабдена с щрайбпроектор (мултимедия) и лаборатория с необходимото оборудване за провеждане на упражнения.
Съдържание на курса: Лекционният материал (с хорариум 20 часа) е обобщен в 9 теми и 9 основни теми за упражнения (с хорариум 10 часа), които предполагат изборност.
Препоръчителна литература: 1. Технология тонких пленок, Справочник I и II част, под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга, Сов. Радио, М., 1977 2.Рачева-Стамболиева Т. М., Технологични основи на микроелектрониката, Печ. МНП, С., 1991 3. Физика тонких пленок, том I, II, III, IV и V, под. ред. Г. Хасса, Р. Э. Туна, Мир, М., 1968
Методи на преподаване: Лекции, беседи и дискусии, онагледявани с щрайбпроектор.			Методи на оценяване: Писмен изпит и събеседване за защита на изложения в писмен вид материал.
Кредити по видове дейност: Аудиторна заетост: 1,2 к. Извънаудиторна заетост: 1,8 к.